國家實驗研究院儀器科技研究中心（儀科中心）與國內真空組件設備製造商新萊應材科技公司及虎尾科技大學、中央大學合作，獲得科技部產學合作計畫補助，共同開發「高潔淨真空閘閥組件之微粒檢測系統」，提升國內產業設備及關鍵元組件自主化供應能力，增進國內產業競爭力。
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