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關鍵字：螢石
台積電攜供應商打造綠色氫氟酸 拚年減碳逾2萬公噸
2023-02-24 15:33:43
台積電攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，成功產製氫氟酸，截至今年2月已導入晶圓12A廠及晶圓15A廠，其他12吋廠將同步試產，預計全面導入後1年可減碳逾2萬公噸。
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