晶圓代工廠台積電成功推動光阻供應鏈在地化，110年設立全台第一座極紫外光（EUV）光阻生產工廠，估計年產值超過新台幣10億元；目前評估於今年第4季建立「機台租賃平台」，提供有需求的供應商使用。
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