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    「原子針尖斷層影像儀」助先進製程材料解析

    2023-04-19 17:18:02

    國科會今天(19日)在新竹的國研院半導體中心,發布「原子針尖斷層影像儀」(APT)研究成果,可提供高解析度、3D材料分析,突破半導體解析侷限,堪稱半導體與材料的原子級電腦斷層分析,不僅對半導體產業有所助益,更可擴展到多種前瞻應用材料。

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