聚焦先進製程 全球首創2nm製程鍍膜設備亮相

【新唐人亞太台 2023 年 09 月 06 日訊】歡迎回來。國際半導體展今年擴大展出，橫跨台北南港展覽館1館及2館，吸引950家企業、10個國家籌組國家館參展。展覽聚焦半導體先進製程，提升國產自製率；另外，全球首創、台灣第一個國產2奈米製程鍍膜設備，首次曝光。

半導體前段鍍膜製程，從多道工序，整合成只要一個步驟。全球首創、台灣第一個國產二奈米製程鍍膜設備，相較傳統設備提升25%的產能效率，首次在國際半導體展曝光。

工研院機械所組長 黃萌祺：「薄度是非常的薄，而且可以非常的均勻，能夠滿足未來這種半導體，這種高深寬比的一個，這樣子的鍍膜的需求。把電漿跟熱等等之類的，複合式同時做在一個腔體裡面，那我進去的時候，我就一次一站可以到底。目前我們可以把國產零組件的比例從30%提升到60%以上。」

提升半導體設備國產自製率，工研院也攜手台灣設備廠，開發相變化水冷技術，可達全球最高千瓦散熱水準，超越目前散熱技術一倍以上，成功打進美國HPC晶片大廠供應鏈。因應AI發展需求，半導體製造設備大廠東京威力科創，發表雷射晶邊修整系統和極低溫蝕刻技術，並宣布擴大在台投資計畫。

東京威力科創總裁 張天豪：「它是用雷射的技術取代過去用去離子水清洗，所以它整個在超潔淨水的節省，大概可以節省70%。今年度我們也把我們的潔淨室做一倍的成長，台灣的技術中心就在我們的新竹。明年底我們會正式啟用我們台南新的營運中心，大概可以容納超過1000人的空間。」

崇越科技營運長 吳玉敏：「未來的爭奪除了在技術面以外，去想辦法找到，我們覺得有潛力、有價值的人才才是當務之急，我想這個部分不會只有台灣的課題，我想全世界都會面臨到這樣的問題。」

半導體材料整合服務大廠崇越，攜手台廠以旗艦隊的方式，提供半導體從IC設計到成品的服務，打入國際。引進3D IC晶片堆疊金屬細線路接合技術，搶攻CoWos先進封裝市場。

崇越科技營運長 吳玉敏：「台灣在這麼小的範圍裡面，從前端到後端到供應鏈都很齊全，我想這個是一件很不得了的事情，也造就我們台灣半導體業有護國神山的產生。值得，全世界各國的借鏡。」

今年國際半導體展擴大展出，橫跨南港展覽館1館及2館，包括950家企業、10個國家組國家館參展，除了美日德國之外，首度參展的荷蘭，號召14家半導體廠商跟學術單位來台。多國專業人士齊聚台灣，共同為半導體未來發展，深度交流。

新唐人亞太電視 陳輝模 李晶晶 台灣台北報導