全球首創!台灣2nm製程鍍膜設備亮相

【新唐人亞太台 2023 年 09 月 09 日訊】今年的國際半導體展,吸引950家企業、10個國家籌組國家館參展。聚焦半導體先進製程,提升國產自製率;另外要帶您看到,全球首創、台灣第一個國產2奈米製程鍍膜設備,也首次曝光。

半導體前段鍍膜製程,從多道工序,整合成只要一個步驟。全球首創、台灣第一個國產二奈米製程鍍膜設備,相較傳統設備提升25%的產能效率,首次在國際半導體展曝光。

工研院機械所組長 黃萌祺:「薄度是非常的薄,而且可以非常的均勻,能夠滿足未來這種半導體,這種高深寬比的一個,這樣子的鍍膜的需求。把電漿跟熱等等之類的,複合式同時做在一個腔體裡面,那我進去的時候,我就一次一站可以到底。目前我們可以把國產零組件的比例從30%提升到60%以上。」

提升半導體設備國產自製率,工研院也攜手台灣設備廠,開發相變化水冷技術,可達全球最高千瓦散熱水準,超越目前散熱技術一倍以上,成功打進美國HPC晶片大廠供應鏈。因應AI發展需求,半導體製造設備大廠東京威力科創,發表雷射晶邊修整系統和極低溫蝕刻技術,並宣布擴大在台投資計畫。

東京威力科創總裁 張天豪:「它是用雷射的技術取代過去用去離子水清洗,所以它整個在超潔淨水的節省,大概可以節省70%。今年度我們也把我們的潔淨室做一倍的成長,台灣的技術中心就在我們的新竹。明年底我們會正式啟用我們台南新的營運中心,大概可以容納超過1000人的空間。」

崇越科技營運長 吳玉敏:「未來的爭奪除了在技術面以外,去想辦法找到,我們覺得有潛力、有價值的人才才是當務之急,我想這個部分不會只有台灣的課題,我想全世界都會面臨到這樣的問題。」

半導體材料整合服務大廠崇越,攜手台廠以旗艦隊的方式,提供半導體從IC設計到成品的服務,打入國際。引進3D IC晶片堆疊金屬細線路接合技術,搶攻CoWos先進封裝市場。

崇越科技營運長 吳玉敏:「台灣在這麼小的範圍裡面,從前端到後端到供應鏈都很齊全,我想這個是一件很不得了的事情,也造就我們台灣半導體業有護國神山的產生。值得,全世界各國的借鏡。」

今年國際半導體展擴大展出,橫跨南港展覽館1館及2館,包括950家企業、10個國家組國家館參展,除了美日德國之外,首度參展的荷蘭,號召14家半導體廠商跟學術單位來台。多國專業人士齊聚台灣,共同為半導體未來發展,深度交流。

新唐人亞太電視 陳輝模 李晶晶 台灣台北報導

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